????Aerotech?ABL系列氣浮軸承直驅直線運動平臺，擁有超 的定位功能，精度在0.2~0.5um之間。

設計特點

• 專為 掃描和檢查而設計

• 所有空氣軸承表面上的有效空氣預載

• 線性編碼器反饋提供亞納米分辨率

• 高剛性，可承受重載，并具有 幾何性能

• 行程達500毫米
  

前沿制造業(yè)，特別是在半導體和數據存儲行業(yè)中，要求的定位公差超出了傳統(tǒng)滾珠絲杠和機械軸承定位系統(tǒng)的能力。ABL1500空氣軸承臺具有完全主動的預緊力，極高的剛度和 幾何特性， 為滿足這些需求而設計。

空氣軸承設計，實現高動態(tài)性能

ABL1500在垂直和水平表面上均帶有空氣預載功能。相對的薄膜壓力可保持軸承的名義間隙公差。除了大的空氣軸承表面可以將負載分配到較大的表面積上之外，這種設計還可以使平臺具有 剛度，非常適合重載或偏載。

制造技術導致了具有無法超越的幾何特征的階段�？諝廨S承具有固有的平均效應，可限度地提 薄膜將填充小的表面空隙并允許其他不規(guī)則性。此特性可產生 螺距，滾動，偏航，直線度和平坦度規(guī)格。

直線電機驅動

此階段的驅動力是Aerotech的BLMC系列無刷線性伺服電機。該設計體現了Aerotech作為電機制造商的悠久歷史和經驗。BLMC使用無鐵力，這意味著零齒槽效應和無吸引力，從而實現了 的運動平穩(wěn)性。BLMC能夠產生高的力和速度，代表了功率和性能的結合。

零維護

我們的完全非接觸式空氣軸承，非接觸式線性電動機驅動器和非接觸式反饋設備確保了Aerotech設備所期望的 水平下的多年免維護運行。由于運動元件之間沒有機械接觸，所以隨著時間的流逝，ABL1500不會遭受磨損或性能下降。使用壽命幾乎是 的，并且由于沒有潤滑-只有清潔，干燥的氣體-空氣軸承是潔凈室和醫(yī)療應用的理想選擇。

電纜管理

我們精心優(yōu)化電纜彎曲半徑，以確保多年無故障運行。萬一發(fā)生故障，Aerotech的模塊化設計使電纜更換變得快速簡便，停機時間 少。我們將所有客戶要求的電纜，空氣軟管等都包含在CMS捆綁包中，以便于集成到 終系統(tǒng)中。兩端完全連接，可輕松集成到客戶的機器中。

技術指標

機械規(guī)格

• 通過每個階段的認證。

• 列出了軸上加載的軸方向。

• 規(guī)格適用于在桌面上方25 mm處測量的單軸系統(tǒng)。多軸系統(tǒng)的性能取決于有效載荷和工作點。有關多軸或非標準應用，請咨詢工廠。

• 為了防止空氣軸承承受負壓，建議在運動控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個在線壓力開關。

• 供氣必須清潔，干燥至0°F露點并過濾至0.25 μm或更高；建議使用純度為99.9％的氮氣。

• 對于XY配置，上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm，則需要ABL1500WB作為下軸。